国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“深沟槽隔离结构及其制备方法、半导体器件”的专利,公开号CN121463797A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,一种深沟槽隔离结构及其制备方法、半导体器件,涉及半导体技术领域。该深沟槽隔离结构包括衬底,衬底上表面内凹形成具有第一深度的深沟槽;衬底的上表面还内凹形成具有第二深度的环形槽,环形槽围合于深沟槽的外周,且第一深度大于第二深度;深沟槽内部填充隔离材料形成柱状部,环形槽内填充应力材料形成环状部,环形槽的截面宽度由槽口向槽底逐渐减小;应力材料的晶格常数大于衬底的晶格常数,以使环状部具有朝向柱状部的应力。上述深沟槽隔离结构能改善深沟槽隔离结构的表面形态,降低生产难度。
天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息204条,此外企业还拥有行政许可180个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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