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中国刻蚀机厂商崛起,支持3nm芯片工艺,排名全球第13!

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芯片的制造过程,光刻机、刻蚀机都是必不可少的设备。

光刻机是将芯片电路图投影至涂了光刻胶的硅晶圆上,进行电路的刻录,而刻蚀机则将刻录好的电路图保留下来,将不要的部分腐蚀掉,只保留要的部分。

所以光刻机重要,刻蚀机也同样重要,双方的功能互补,是对应的。



但大家不知道的是,国产光刻机技术不太行,但国产刻蚀机技术,可是非常行的。

从技术上来看,目前国产刻蚀机的技术是全球顶尖的,达到了国际同步的水平,而国产最强的刻蚀机厂商,就是中微公司了。

这家企业,则尹志尧博士,在2004年创办的,当时他从海外回来,带着一帮海归精英创办了它。至今也是20来年的历史。



在创办这家企业之前,尹志尧博士,一直在美国芯片巨头工作,比如英特尔,应用材料、泛林等,有着丰富的经验,还有着众多的专利。

他归国后,看到国产刻蚀机水平这么低,于是一头扎了进来,于2007年就推出了中国首台电容性等离子体刻蚀设备,打破国外垄断。

后来发展太快,还引来了应用材料的打压起诉,但有技术就不怕,针对应用材料的打压,中微根本就不怂,最后还胜诉了。



后来,中微不断的发展,不断的突破,一步一步的走到了世界前列,目前中微的刻蚀机,早已进入了台积电的供应链,技术也达到了3nm,是国产最强刻蚀机企业,也是全球最强的光刻机企业之一。

而为了保持这种先进性,同时避免被国外的供应链卡脖子,中微更是做了一件大事,那就是在自己的生产线上,实现100%的国产化,全部采用国产元件。

按照中微公司的官方说法,目前在生产线上实现了全套国产化,并且在刻蚀机的零部件上也实现了全部国产化,根本就不担心卡脖子的问题。



而除了刻蚀机之外,目前中微也涉足了薄膜沉积设备、MOCVD设备等,在这些领域,也达到了全球顶尖水平,特别是氮化镓基LED MOCVD设备,全球领先。

2025年,中微公司预计营收124亿元,其中刻蚀设备约占98.32亿元,其它的主要就是LPCVD和ALD等半导体薄膜设备,而利润超过20亿元,所以靠着这个业绩,能够杀进全球前20,排到全球第13名了。

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