国家知识产权局信息显示,统一半导体公司申请一项名为“基板尺寸适配器”的专利,公开号CN121464750A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于保持晶片(W)的适配器(1)。适配器的背面(1b)旨在被放置在设置于支撑件(S)的主面(S1)上的第一吸附通道(C1)和第二吸附通道(C2)上并在该第一吸附通道和该第二吸附通道上延伸。适配器(1)包括设置在正面(1a)上以接纳晶片(W)的浅凹槽(2),该浅凹槽(2)被成形为晶片大小并具有平坦基部(2b)以接触晶片(W)的表面。适配器(1)还包括真空网络,该真空网络延伸穿过该适配器(1)并包括连接适配器的背面(1b)与适配器的正面(1a)的至少一个贯通通路(6a;6b、6c;6d、6e),该贯通通路(6a;6b、6c;6d、6e)在正面(1a)上在浅凹槽(2a)中敞开。贯通通路(6a;6b、6c;6d、6e)在背面(1b)上截断支撑件(S)的第一吸附通道(C1),但不截断第二吸附通道(C2)。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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