北京
国家知识产权局信息显示，河南东微电子材料有限公司申请一项名为“立式炉管设备及其温度控制方法”的专利，公开号CN121463793A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供一种立式炉管设备及其温度控制方法，立式炉管设备包括：炉体；晶舟，沿高度方向上承载多层晶圆，多层晶圆分为N个高度区域；多个气体注射管，用于分别向每个高度区域注入气体；多个调节阀，用于调节对应的气体注射管的气体流量；多个温度检测装置，用于分别检测每个高度区域内晶圆的实际温度；多个加热器，多个加热器结构一致且与N个高度区域一一对应，用于分别对每个高度区域内的晶圆进行加热；温度控制装置，用于根据晶圆的实际温度与预设温度的偏差，控制对应高度区域内的调节阀和加热器。能够对不同高度区域的晶圆温度进行实时检测与控制，缩小同一炉内晶圆间的温度偏差，从而提升不同高度晶圆的温度均匀性。
天眼查资料显示，河南东微电子材料有限公司，成立于2018年，位于郑州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本15200.18426万人民币。通过天眼查大数据分析，河南东微电子材料有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息129条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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