国家知识产权局信息显示,亦亨电子(上海)有限公司取得一项名为“一种用于干法刻蚀的磁场监控装置”的专利,授权公告号CN223871446U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于干法刻蚀的磁场监控装置,包括矩形框架,所述矩形框架底部均匀设置有调平组件,所述调平组件连接有调平板,所述调平板顶部连接有磁场监控主体,所述磁场监控主体顶部适配设置有顶盖,所述顶盖顶部安装有气泡水平仪;所述调平组件包括竖向设置的螺杆和套块,所述螺杆转动安装在矩形框架的四边角处,所述套块螺纹连接在螺杆上,所述套块的内侧部设置有铰接座,所述调平板的四边角对应铰接在套块的铰接座上。本实用新型属于刻蚀机的磁场监控技术领域,具体是指一种用于干法刻蚀的磁场监控装置。
天眼查资料显示,亦亨电子(上海)有限公司,成立于2011年,位于上海市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本189.957万人民币。通过天眼查大数据分析,亦亨电子(上海)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目21次,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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