北京
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国家知识产权局信息显示，凯斯科技股份有限公司申请一项名为“用于清洗晶圆的刷子的刷子倾斜度测量方法及装置以及刷子的磨损量测量方法及装置”的专利，公开号CN121423278A，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，公开了一种测量用于清洗晶圆的刷子的倾斜度的刷子倾斜度测量装置以及测量用于清洗晶圆的刷子的磨损量的刷子磨损量测量装置。刷子倾斜度测量装置包括：晶圆清洗部，其利用刷子清洗晶圆；刷子旋转部，其包括使得刷子旋转的第1马达；传感器部，其包括对第1马达的旋转扭矩值进行测量的扭矩传感器；刷子位置调整部，其包括用于分别调整刷子两侧垂直位置的第2马达；以及处理部，其基于测得的旋转扭矩值，推断刷子的倾斜度。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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