中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

朱士尧的职业历程

1944年10月朱士尧出生在上海嘉定，早年接受教育后1963年考入中国科学技术大学北京校区，专业方向是核反应堆工程，1968年毕业。

1973年起在中科大近代物理系教书并搞研究，主要领域是等离子体物理和受控核聚变，期间写了不少论文，还出过三本书，比如1992年中国科学技术大学出版社出的《核聚变原理》，现在还是这个专业博士生考试的参考书。1983年他被派到美国威斯康星大学麦迪逊分校当访问学者，待了快三年。

1995年又去荷兰科学院做访问教授，合作研究一年半。1997年起他当上中科大研究生院副院长，管研究生教育。2005年3月从中科大退休后，转到华为公司，一直干到2014年底。在华为十年，他讲了上千场关于公司文化的课，包括用英文给海外员工讲，覆盖50多个国家。

退休后，他还关注科技话题，偶尔在论坛分享看法。他曾在访谈里说光刻机这东西，美国也搞不定，中国更别想单干，这话一出就炸锅了。其实他想说的是，这玩意儿太复杂，得靠全球分工，不是一家一国能包圆的。

光刻机背后的国际分工

光刻机这东西，尤其是高端的EUV机，一台得卖2亿欧元，折合人民币15亿，还得排队两年。ASML是老大，但他们自己也承认，核心技术不到10%，其余90%靠全球5000多家供应商拼凑。

光源是心脏，得产生13.5纳米极紫外光，用激光轰锡滴，每秒5万滴，直径30微米。ASML 2013年花25亿美元买了美国Cymer公司，管光源，但主脉冲激光还得靠德国通快，一台几千万欧元，独家供货。

光学系统用11面镜子，极紫外光真空传播，每面镜子反射率70%，表面粗糙度0.1纳米，只有德国蔡司行，从1990年代合作，到2012年才出首套量产镜组，ASML后来投10亿欧元买了蔡司24.9%股份。工件台真空里6倍音速动，精度0.5纳米，马达传感器德国货。

2010年ASML搞客户投资计划，英特尔、三星、台湾地区台积电投50多亿欧元，换优先权，用来绑供应商，形成美德荷铁三角。朱士尧的话核心就是这个，ASML都得靠全球协作，单国想独干顶尖光刻机不现实。

美国也一样，蔡司镜子、通快激光他们造不出，得进口，锡滴技术还得德国帮忙。不是否定中国，而是提醒别情绪化，得尊重规律。

中国在光刻机领域的实际进展

中国没从头死磕EUV，先从中低端DUV起步。上海微电子是主力，专注前道光刻机，90nm机型已规模生产，年卖50多台，国内份额超80%。2025年5月，他们交付首台28nm浸没式DUV，批量后良率95%，用在汽车电子、消费电子芯片上。

在特色工艺上，他们是隐形冠军，先进封装光刻机全球占37%，国内85%；LED系列全球超50%。2025年底，以1.1亿中标政府项目，推出SSC800/10型，填补国产这类机型空白。

EUV难点在垄断部件，光刻胶日本JSR、信越化学把控，国产28nm ArF光刻胶刚量产，良率超90%。但中国没闲着，哈尔滨工大破了13.5nm EUV光源，福晶科技激光晶体全球占60%，还供ASML。上海微电子扩产计划已批，产业化在提速。

2025年，中国半导体设备国产化率从2018年4%升到13%，预计2025年破20%。中微公司Primo Twin-Star刻蚀机精度0.2埃，山东艾恩碳化硅离子注入机把国产率从8%提至15%。市场数据，2025年二季度中国大陆半导体设备销售额113.6亿美元，占全球34.4%。

光刻机不是国与国的竞赛，而是全球供应链的协作。中国现在做的，就是在体系里一步步拆核心垄断。

像光源、光刻胶这些，短期难全破，但方向对，步子稳，就能往前。那些说中国造不出的，可能忽略了美国也依赖进口的事实。

总之，这事得脚踏实地，别急躁，中国会造出自己的顶尖光刻机。