国家知识产权局信息显示,西安卫光科技有限公司;西安微晶微电子有限公司申请一项名为“挡片组件和化学气相沉积系统”的专利,公开号CN121428537A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请提供了一种挡片组件和化学气相沉积系统。该挡片组件包括:至少两个挡片组,分别对应设置于立式炉的至少两个温度不同的装填区内;每一挡片组均包括至少一个挡片;不同挡片组内的挡片的厚度不同;挡片组所在的装填区的温度越高,挡片组内的挡片的厚度越小。本申请能够使得在相同的反应时间内,不同挡片组中,挡片以及挡片上的薄膜厚度之和更加接近,有利于降低不同挡片组中挡片的厚度差,进而能够同步对挡片的厚度监控步骤,同步不同的装填区的更换时间和清洗时间,提高挡片的厚度监控、更换和清洗的效率。本申请的边缘部薄于中间部,本申请具有凸起结构,能够减轻挡片与沉积物发生粘连的情况,便于取出挡片。
天眼查资料显示,西安卫光科技有限公司,成立于2007年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2651.37万人民币。通过天眼查大数据分析,西安卫光科技有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目156次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息42条,此外企业还拥有行政许可17个。
西安微晶微电子有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,西安微晶微电子有限公司参与招投标项目1次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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