北京
国家知识产权局信息显示，中芯集成电路（宁波）有限公司取得一项名为“一种检测叉指间距的半导体结构”的专利，授权公告号CN223866364U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种检测叉指间距的半导体结构，半导体结构包括：第一衬底；导电层，导电层设置于所述第一衬底的一侧，所述导电层上设置有电连接设置的焊盘结构和触点结构；MEMS器件，所述MEMS器件设置在所述导电层远离所述第一衬底的一侧，所述MEMS器件包括多个叉指电极和与所述多个叉指电极连接的连接结构；其中，所述连接结构与所述焊盘结构连接，所述触点结构上施加电压时，所述MEMS器件内的多个叉指电极之间的间距通过电容值确定。本申请通过在触点结构上施加电压，可以快速准确地测量多个叉指电极之间的电容值，并根据电容值的变化精准地确定多个叉指电极之间的间距变化，从而精确监控了整根叉指的间距变化，提高了对工艺异常监测的准确度。
天眼查资料显示，中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本473304.347718万人民币。通过天眼查大数据分析，中芯集成电路（宁波）有限公司参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息69条，专利信息506条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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