国家知识产权局信息显示,迈为技术(珠海)有限公司取得一项名为“一种柔性吸片装置”的专利,授权公告号CN223859650U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种柔性吸片装置,涉及半导体制造领域,该柔性吸片装置包括固定座以及吸附部件,其中固定座的下侧设置有柔性连接件,吸附部件通过柔性连接件吊装于固定座的下方,吸附部件在外力作用下,柔性连接件允许吸附部件相对固定座发生倾斜,实现吸附部件的水平调节。这种倾斜能够实现吸附部件在水平方向上的微调,使得吸附部件可根据晶圆的表面情况,吸附部件仅需通过部分自重与晶圆发生接触,无需额外增加压力,并在接触到晶圆表面的过程中对其水平位置进行调节,实现吸附部件与晶圆表面的平稳接触,即可实现陶瓷吸盘和晶圆的完全贴合,防止晶圆表面局部受压过大为出现形变甚至碎裂等的情况。
天眼查资料显示,迈为技术(珠海)有限公司,成立于2022年,位于珠海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析,迈为技术(珠海)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目57次,专利信息283条,此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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