北京
国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司取得一项名为“气体传输装置及半导体工艺机台”的专利，授权公告号CN223844218U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种气体传输装置及半导体工艺机台。气体传输装置用于传输工艺气体，包括：气箱，用于提供工艺气体；第一气体传输管路，连接至气箱，用于将工艺气体传输至一反应腔，第一气体传输管路设置有第一气体流量检测器，第一气体流量检测器用于对流经第一气体传输管路的工艺气体流量进行检测；第二气体传输管路，连接至气箱，用于将工艺气体传输至反应腔，第二气体传输管路设置有第二气体流量检测器，第二气体流量检测器用于对流经第二气体传输管路的工艺气体流量进行检测；气体传输装置能够在第一气体流量检测器、第二气体流量检测器任意其一检测到气体流量异常时停止传输工艺气体。上述技术方案在其一气体传输管路的气体流量异常时停止传输。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1951次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息1341条，此外企业还拥有行政许可200个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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