国产半导体细分领域头部供应商恒运昌上市，科创半导体ETF（588170）近1周规模增长领先同类，半导体设备ETF华夏（562590）最新规模创新高

截至2026年1月28日 10:50，上证科创板半导体材料设备主题指数（950125）下跌0.42%。成分股方面涨跌互现，神工股份领涨4.13%，盛美上海上涨1.92%，拓荆科技上涨1.62%；耐科装备领跌4.69%，兴福电子下跌3.49%，艾森股份下跌3.40%。科创半导体ETF（588170）下跌0.53%，最新报价1.87元。流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.81%，成交6.45亿元。

截至2026年1月28日 10:52，中证半导体材料设备主题指数（931743）下跌0.30%。成分股方面涨跌互现，康强电子领涨7.35%，金海通上涨6.25%，神工股份上涨4.37%；江化微领跌5.92%，艾森股份下跌3.58%，珂玛科技下跌3.51%。半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.25%，最新报价2元。流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手6.11%，成交1.89亿元。

规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长6.89亿元，位列同类第一。半导体设备ETF华夏最新规模达30.77亿元，创近1年新高。

消息面上，国产半导体细分领域头部供应商恒运昌今日在科创板上市。恒运昌是国产半导体射频电源头部供应商，公司自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源以及配件等。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

国泰海通认为，公司是国内等离子体射频电源系统行业龙头，打破美系两大巨头垄断，相关产品已通过验证并量产，实现国产替代。公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业，相关产品已全面覆盖下游头部客户，与拓荆科技等深度合作。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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