国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制作方法、半导体结构及集成电路”的专利,公开号CN121398580A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体结构的制作方法、半导体结构及集成电路,属于半导体技术领域,所述制作方法至少包括以下步骤:蚀刻多层层间介质层,在器件区形成垂直接触孔,在密封环区形成异形接触孔,且异形接触孔的径向尺寸随着深度增加而减小;蚀刻垂直接触孔外围的部分多层层间介质层,在接触孔远离底层金属层的一侧形成沟槽,接触孔靠近底层金属层的一侧形成通孔;同步蚀刻多层层间介质层顶部,使相邻的异形接触孔连通;以及在通孔、沟槽和异形接触孔内沉积导电材料层,通孔和沟槽中的导电材料层形成大马士革结构,异形接触孔内的导电材料层形成密封环。通过本发明提供的一种半导体结构的制作方法,可简化制程并减少缺陷。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1599条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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