国家知识产权局信息显示,瑞声科技(新加坡)有限公司申请一项名为“一种微机电系统及机电转化装置”的专利,公开号CN121376899A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明提供了一种微机电系统及机电转化装置,微机电系统包括第一波纹膜、第二波纹膜、间隔结构、第一电极、第二电极和压缩层,第一波纹膜和第二波纹膜沿第一方向正对设置,沿第一方向,间隔结构设置于第一波纹膜与第二波纹膜之间,沿第一方向,第一电极设置于第一波纹膜背离间隔结构的一侧,第二电极设置于第二波纹膜背离间隔结构的一侧,压缩层设置于第一电极与第一波纹膜之间,和/或,压缩层设置于第二电极与第二波纹膜之间,压缩层具有压缩应力,使得微机电系统的声学柔顺性得到改善。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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