国家知识产权局信息显示,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司申请一项名为“一种磁极机构以及磁控溅射装置”的专利,公开号CN121394280A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种磁极机构以及磁控溅射装置,涉及半导体技术领域。该磁极机构包括基台、驱动组件、转动杆、芯轴、安装圆板、传动组件和活动磁块。转动杆可转动地安装于基台,且穿过基台设置,转动杆的一端与驱动组件连接,另一端与安装圆板连接,转动杆的中部沿其轴向设置有中空空腔,芯轴穿过中空空腔设置,且与转动杆转动配合,芯轴通过传动组件与活动磁块连接,活动磁块可滑动地安装于安装圆板,芯轴用于受驱相对于转动杆转动,以通过传动组件带动活动磁块沿安装圆板的径向滑动,从而调节活动磁块与安装圆板的相对位置。本发明提供的磁极机构能够实现磁场分布的快速调节,提高溅射镀膜的均匀性,保证产品质量。
天眼查资料显示,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司参与招投标项目5次,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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