国家知识产权局信息显示,绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺”的专利,公开号CN121386280A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺,包括以下步骤:提供基板,所述基板上承载极紫外线EUV光罩保护膜;对纳米碳管进行预处理,以使所述纳米碳管带电;对带电的纳米碳管进行离析处理,以筛选出带电量合规的纳米碳管和/或带电量不合规的纳米碳管;对所述带电量合规的纳米碳管进行直流加速,以使纳米碳管附着在所述基板上,形成初步膜层;以及对所述初步膜层进行膜质调整,形成最终膜层。本发明提供一种集成化、整合工艺,解决了现有工艺分散不均的核心问题,针对光罩保护膜的需求,创新性引入半导体领域的电晕带电与离析工艺,为光罩保护膜带来了全新的性能优化路径或功能实现方式。
天眼查资料显示,绍兴芯链半导体科技有限公司,成立于2022年,位于绍兴市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析,绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息33条,此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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