北京
国家知识产权局信息显示，绍兴芯链半导体科技有限公司申请一项名为“一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺”的专利，公开号CN121386280A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种极紫外线光罩保护膜纳米碳管的添加工艺，包括以下步骤:提供基板，所述基板上承载极紫外线EUV光罩保护膜；对纳米碳管进行预处理，以使所述纳米碳管带电；对带电的纳米碳管进行离析处理，以筛选出带电量合规的纳米碳管和/或带电量不合规的纳米碳管；对所述带电量合规的纳米碳管进行直流加速，以使纳米碳管附着在所述基板上，形成初步膜层；以及对所述初步膜层进行膜质调整，形成最终膜层。本发明提供一种集成化、整合工艺，解决了现有工艺分散不均的核心问题，针对光罩保护膜的需求，创新性引入半导体领域的电晕带电与离析工艺，为光罩保护膜带来了全新的性能优化路径或功能实现方式。
天眼查资料显示，绍兴芯链半导体科技有限公司，成立于2022年，位于绍兴市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本11819.932144万人民币。通过天眼查大数据分析，绍兴芯链半导体科技有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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