北京
分享至
国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“在工件检验期间成像数千个电子束”的专利，公开号CN121399717A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，使用单个全局准直透镜下游的孔隙阵列从电子束产生小束。引导所述小束穿过在所述小束的路径中在所述孔隙阵列下游的图像透镜阵列，使用所述图像透镜阵列将所述小束个别地聚焦到中间图像平面上。接着使用在所述图像透镜阵列下游的转移透镜阵列将所述小束引导于载物台上的工件处。所述小束的路径不包含交叉。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
