北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“衬底支撑件”的专利，公开号CN121399543A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本文公开一种衬底支撑件（200），所述衬底支撑件被配置成支撑衬底（W），所述衬底支撑件包括：上表面（225）；多个支撑构件（241），所述多个支撑构件在所述上表面上方延伸；抽取槽沟（230），所述抽取槽沟由第一周向壁和第二周向壁限定，其中，所述第一周向壁和所述第二周向壁在所述上表面上方延伸；抽取开口（217），所述抽取开口在所述抽取槽沟内形成在所述上表面中；以及一个或更多个流体保留特征（250），所述一个或更多个流体保留特征形成在所述抽取槽沟内。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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