国家知识产权局信息显示,无锡迪普微视科技有限公司申请一项名为“用于晶圆检测的可变倍率显微成像系统及控制方法”的专利,公开号CN121386164A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明涉及显微镜成像方法领域,具体涉及用于晶圆检测的可变倍率显微成像系统及控制方法,系统包括物镜模块、自动对焦模块、光源模块、相机模块、变动倍率模块,变动倍率模块位于相机模块与物镜模块之间,变动倍率模块根据变倍需求实现大范围可变倍率,方法包括根据晶圆样品的尺寸计算需要的系统放大倍率;计算显微成像系统中变动倍率模块的装配参数,并确定变动倍率模块的装配方案,将变动倍率模块同轴装配至成像系统中;采集晶圆样品在当前成像视场下的显微图像,控制电动样品台带动样品平移,实现成像视场的切换,再自动重新完成实时对焦;重复切换视场并自动对焦,直至整个晶圆样品上全部待测区域成像数据采集完成。本发明能够提高检测效率。
天眼查资料显示,无锡迪普微视科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本400万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡迪普微视科技有限公司专利信息5条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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