北京
国家知识产权局信息显示，广东凯威存储技术股份有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆片表面缺陷检测装置”的专利，公开号CN121384967A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆检测技术领域，具体的公开了一种半导体晶圆片表面缺陷检测装置，包括机床本体，所述机床本体上开设有第一开槽，第一开槽的内部安装有放置板，放置板上均匀活动安装有多个放置架。本发明通过设置有夹杆与第一激光测距传感器，夹杆运动至待检测晶圆处，两个夹杆上第一激光测距传感器对晶圆的测距，并将检测数据传输至后台控制系统与标准数值进行比对，若检测数据超出标准数据值范围，则说明晶圆在放置架中放置位置不准确，通过这种操作方式可以完成对晶圆放置位置的准确度检测，防止晶圆在放置架内部放置位置不准确，造成的晶圆检测结果不准确以及后续转移过程中晶圆发生脱落产生晶圆损的情况发生。
天眼查资料显示，广东凯威存储技术股份有限公司，成立于2011年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1557.2万人民币。通过天眼查大数据分析，广东凯威存储技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目8次，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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