佛山工厂破解美国30年技术封锁，连台积电排队合作

电子特气在芯片制造里扮演关键角色，用于光刻、刻蚀、沉积和清洗等环节。纯度要求达到5N到7N级别，杂质稍多就会造成晶圆报废。

过去三十年，美国空气产品公司、法国液化空气集团、日本大阳日酸等企业占据主导地位。它们提供高纯产品，但定价较高，还设置专利钢瓶接口和限制条款。

国内芯片厂购买时常常面临高价和供应限制，部分企业尝试自主研发后供应中断，生产线受到影响。这种局面从上世纪90年代延续下来，形成实际依赖。

1948年12月石平湘出生。1993年，他放弃政府部门工作，创立广东华南特种气体研究所，作为华特气体前身。1999年2月，佛山市华特气体有限公司正式注册成立，石平湘担任主要负责人。

企业初期做普通工业气体供应钢厂和陶瓷厂，后来转向电子特气领域。2000年后逐步开发高纯产品，2005年高纯二氧化碳进入日本TDK东莞工厂，2007年一氧化氮产品进入三星供应链。

华特气体重点攻克光刻混合气体，包含氖、氪、氙等组分。2019至2020年间，公司光刻气通过荷兰ASML公司认证，成为国内唯一、全球少数通过认证的企业。后来又通过Gigaphoton认证，是国内唯一同时获得两家光刻机厂商认证的公司。

产品随后进入台积电、英特尔、SK海力士等供应链，同时服务中芯国际、长江存储、华虹宏力等国内厂商。光刻气在国内市场份额达到60%左右，多个产品实现进口替代。

苏州金宏气体专注于超纯氨研发，用于面板和LED制造。企业通过多年技术积累，把纯度提升到7N级别，成本降低，国内面板厂采用后进口份额减少。南大光电在砷烷、磷烷等氢化物气体领域取得进展，这些气体用于掺杂工艺，毒性较高，纯度和安全控制要求严格。

公司掌握自主生产技术，进入三星、海力士供应链。其他企业如雅克科技、中船特气在含氟气体方面也有突破，形成产业集群。2022年乌克兰局势影响氖气供应，中国钢铁企业通过空分装置提取氖、氪、氙，稳定国内供应并出口，缓解全球价格波动。

华特气体等企业突破后，国内8寸及以上集成电路厂商使用国产品种覆盖率大幅提升。台积电等国际厂商为分散风险、降低成本，增加对中国特气采购，签订长期协议。六氟化钨等气体价格从较高水平回落，国外供应商定价影响力减弱。

2023年华特气体海外光刻气销售实现突破。中国半导体产业获得更稳定的材料支持，避免单一依赖。

全球晶圆厂采购选择增加，成本曲线更合理。

芯片制造里气体供应曾经长期受限，佛山这家工厂的技术突破让台积电等企业转向采购。未来随着更多制程需求满足，国产化会继续推进，产业自主能力进一步加强。

参考资料

超净高纯电子特气．中国百科．2023-08-15

李盛姬,黄雪静,齐海等.含氟电子气体研究进展J.低温与特气,2013,31(1):1-5.．万方 引用日期2017-12-13

高纯硅烷大规模生产技术获得突破．上海交通大学．2014-12-18