国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司取得一项名为“研磨垫修整装置”的专利,授权公告号CN223820329U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种研磨垫修整装置。所述装置包括:固定支架,固定设置于研磨垫的边缘,所述固定支架与所述研磨垫之间具有一间距;摆臂,其第一端固定连接至所述固定支架,其第二端能够延伸至所述研磨垫的上方,所述摆臂能够围绕所述固定支架平扫;多个修整器,均连接至所述摆臂,并能够在所述摆臂的带动下对所述研磨垫的表面进行修整。通过在摆臂上安装多个修整器,多个修整器可以同时工作,覆盖研磨垫的不同区域,可以使得修整时间大幅缩短,提升了CMP工艺的整体效率,减少了因运动带来的振动和位置偏差,提高了修整精度和一致性,避免局部过度磨损,使得研磨垫的使用寿命得以延长。
天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。通过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目1949次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息1327条,此外企业还拥有行政许可200个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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