国家知识产权局信息显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司申请一项名为“一种晶圆载片台”的专利,公开号CN121358247A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆载片台,包括微调平台,微调平台上固定安装有基准架,基准架上滑动安装有固定架,固定架内套装、且固定安装有中间衔接架,中间衔接架内套装有调节架,调节架的外壁与中间衔接架的内壁为球面配合,且中间衔接架与调节架之间设有气吸式固定结构;调节架上设有载板,载板与调节架之间设有负压吸附机构;调节架上还安装有片体吸附顶升机构,载板上开设有避让孔。实现了晶圆所处平面位置的调整,同时与光刻板保持平行状态,平行度调节快速、方便,且调节后固定可靠、稳定,为保证曝光、光刻等工艺的效果和产品的质量奠定了基础。
天眼查资料显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏晋誉达半导体股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息103条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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