上海一家科技公司获得新一轮融资，中比基金、尚融资本等投资！

1月19日，投融湾团队了解到上海地区近日新增一家融资成功的企业，来自上海闵行区。

该企业名为上海励兆科技有限公司（下文简称：励兆科技），成立于2022年8月，这是一家主要研发生产半导体工艺设备射频与等离子系统核心部件的高新技术企业。

励兆科技创始人为赵馗，85后，本科毕业于中国科学技术大学，博士毕业于美国休斯顿大学。博士毕业后回国主要从事集成电路关键工艺设备等离子体刻蚀机的研发，2022年成立励兆科技。

公司联合创始人为王奕善，他是射频技术领域专家，曾在医疗器械企业从事多年研发工作，成功主导研发过应用于人体的复杂Class-E射频系统。公司副总裁为宋伟，毕业于北京航空航天大学，曾在多家国际报道提设备巨头企业担任销售总监或中国区总经理等职位。

公司核心研发团队成员来自中微公司、飞利浦医疗、MKS、AE等知名企业，覆盖了电力电子、高速数字控制和大功率射频等领域，均在射频电源系统设计领域深耕超10年。

公司自主研发的大功率射频功率变换电路效率超90%，功率密度处于行业领先位置，支持13.56MHz、400KHz等多频段的输出，适配不同工艺的功率需求。

公司产品包括：射频电源、射频滤波器、射频网络适配器、射频电压电流探测器、远程等离子体源、E-Chuck高压电源等。其中，公司的射频电源覆盖了13.56MHz、400KHz等系列，功率可调精度达到了0.1W，脉冲频率2Hz-50KHz，占空比1%-99%，适配7nm以下先进制程的需求。

公司产品可广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、腔体清洁、去胶、氧化等场景中。

公司成立以来已经获得多轮融资，近日公司又获得新一轮融资，中比基金、尚融资本和上海鼎禹投资等多家机构联合投资。

从市场空间来看，2025年，全球半导体射频核心部件市场规模超200亿美元，中国市场约为50亿美元。远程等离子体源市场空间约为30亿美元，中国市场约为8亿美元。射频电源与匹配市场的全球市场约为100亿美元，中国市场约为30亿美元。随着国产替代的进行，励兆科技有望从中大幅受益。