北京
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国家知识产权局信息显示，南京先进激光技术研究院；南京中科神光科技有限公司申请一项名为“半导体误差检测用全光谱散射成像融合测量系统及方法”的专利，公开号CN121323477A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体误差检测用全光谱散射成像融合测量系统及方法，为成像和散射测量提供照明的照明光路，以及测量波长覆盖检测光谱200‑1600nm范围的显微物镜成像系统，所述显微物镜成像系统按照200‑400nm、400‑850nm以及850‑1600nm分为三组成像模块，照明光路沿光路方向依次设置光源处理模块、环形光阑组、变倍双远心成像镜组和照明透镜，在进行散射测量时，通过变倍双远心成像镜组和照明透镜将环形光阑成像在对应的显微物镜的瞳面上，可以实现环形光阑大小连续可调，减小测量误差，保证测量的准确性。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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