国家知识产权局信息显示,北京知识产权运营管理有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121335128A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请提供半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:半导体衬底,所述半导体衬底表面形成有第一掺杂层,所述第一掺杂层表面形成有鳍片结构,所述鳍片结构两侧的第一掺杂层表面还形成有底部间隔层;所述鳍片结构顶面的两侧形成有顶部间隔层,所述顶部间隔层的侧壁与所述鳍片结构的侧壁平齐,所述顶部间隔层的侧壁形成有第一介质层,所述顶部间隔层之间的鳍片结构顶面形成有第二掺杂层,所述第二掺杂层延伸至所述第一介质层表面;所述第一介质层和第二掺杂层表面形成有第二介质层;所述底部间隔层表面、鳍片结构侧壁和第一介质层底面形成有栅极结构。本申请可以提高VFET栅极的形成质量,提高VFET器件性能的可靠性。
天眼查资料显示,北京知识产权运营管理有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15067万人民币。通过天眼查大数据分析,北京知识产权运营管理有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息124条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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