智造新城77款新产品入选省级名单

（来源：衢州日报）

转自：衢州日报

　　本报讯 （记者 邓亮 报道组 周毅辉 通讯员 黄玮 郑思懿） 1月13日，记者从智造新城获悉，2025年智造新城共有77款产品入选浙江省工业新产品名单，涵盖高端装备、新材料、新能源、生命健康、传统造纸等多个领域，彰显了产业创新的强劲活力。

　　博来纳润电子材料有限公司（以下简称“博来纳润”）本次入围的工业新产品，是8英寸高平坦化碳化硅精抛液和碳化硅CMP耐氧化抛光垫。在芯片制造的微观世界里，晶圆表面的“平整度”是决定器件性能的核心要素之一。“芯片制造的技术越来越先进，对12英寸晶圆的平整度要求也越来越高——现在要求它的整体起伏不能超过5纳米。” 博来纳润副总经理张姝打了个比方，“这个尺寸有多小？差不多是头发丝直径的一万六千分之一。”

　　“除了平整度，晶圆的洁净度也卡得极严。”张姝介绍，抛光后的晶圆表面，凡是直径超过28纳米的微小污染物，总数必须控制在30颗以内。“这就好比在一个标准足球场里，直径超过8微米的小砂砾，最多只能留30颗。”

　　正是这些近乎苛刻的要求，让CMP（化学机械抛光）工序，在芯片制造过程中成了必不可少的关键环节。CMP是半导体加工的核心技术之一，它通过化学腐蚀作用和机械研磨的动态耦合，实现晶圆表面不同材料去除，从而达到纳米级全局平坦化。

　　博来纳润的抛光液和抛光垫则是实现碳化硅衬底CMP工艺不可或缺的工艺耗材，其任务是将零点几纳米大小的原子通过CMP方式，让数以亿计的原子，在一个平面上排列得整整齐齐。“公司产品成功填补了半导体CMP工艺材料国产化的空白。”张姝说，目前产品已覆盖国内碳化硅衬底头部客户，芯片端产品也已进入头部厂商测试流程。

　　智造新城的工业新产品，大多是围绕产业发展痛点、填补国内空白的“高精尖”产品。“2025年入选的77款省级工业新产品呈现出清晰的集群化发展特征，重点聚焦高端装备和新材料两大核心领域，分别有30款和23款产品入选，占比超过六成。此外，传统优势行业造纸领域有16款产品上榜，形成了传统产业升级与新兴赛道开拓齐头并进的良好格局。”智造新城相关负责人表示，这有助于推动区域产业向高附加值、高技术含量的集群化方向升级。

　　新产品的问世，往往依靠技术创新迭代。几百种化学物质，按照不同比例混合在一起，不相互产生影响，还能长期保持稳定，最终在芯片上根据具体需求发挥出应有的作用。这是浙江奥首材料科技有限公司（以下简称“奥首材料”）工业新产品的神奇所在。

　　2024年11月，奥首材料自主研发的“高湿润性缓冲氧化物蚀刻液”斩获国家发明专利，不仅填补了国内空白，更成功打破国外垄断，实现芯片蚀刻液全制程国产化布局。同年12月，企业先进制程芯片光刻胶项目成功入选浙江省“尖兵”“领雁”研发攻关计划。“2025年我们有3款产品入选省级工业新产品，其中28纳米节点低腐蚀Cu制程CMP后清洗液和集成电路芯片旋转蚀刻液都达到了国际先进水平。”奥首材料相关负责人相告，2023年入选的4款省级工业新产品产业化已在稳步推进。

　　智造新城将继续构建良好的产业生态环境，大力支持单项冠军、专精特新、高新技术企业等优质主体加大研发投入，让更多工业新产品不断涌现，持续为高质量发展注入动能。