北京
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国家知识产权局信息显示，真实仪器公司申请一项名为“用于改进光学信号检测的系统及方法”的专利，公开号CN121323793A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本公开涉及用于改进光学信号检测的系统及方法。本公开提供具有可用于改进半导体工艺监测的改进光谱分辨率及信噪比的光学信号检测系统。改进光谱分辨率可与改进光谱辨别相关联，其中个别监测光谱带宽的窄部分。在一个实例中，提供一种光学信号检测系统，其包含：(1)光学接口，其经配置以接收光学信号；(2)窄带通滤波器，其经配置以透射所述接收光学信号的一部分；(3)光学标准具，其与所述窄带通滤波器串联，经配置以进一步对所述接收光学信号进行滤波，其中所述带通滤波器的通带与所述光学标准具的通带的组合经配置以为所述光学信号提供小于1.0nm的光学带宽；及(4)多像素光学传感器，其经配置以基本上同时收集所述滤波光学信号。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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