北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“电场减少机制”的专利，公开号CN121335475A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，一种静电吸盘，所述静电吸盘包括(a)具有顶表面的静电吸盘主体，所述主体配置为支撑样本；(b)在所述静电吸盘主体内形成的空间，所述空间有上方开口；(c)尖锐导电元件；(d)遮蔽电极；及(e)运动单元，所述运动单元配置为将所述遮蔽电极置于遮蔽位置，其中所述遮蔽电极在所述尖锐导电元件被偏压且所述上方开口未被所述样本的背部覆盖时，减少由所述尖锐导电元件所形成的电场。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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