北京
国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“晶圆对准装置和半导体设备”的专利，授权公告号CN223798669U，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，一种晶圆对准装置及半导体设备，晶圆对准装置包括：卡盘；吹气模组，至少包括位于卡盘的侧部的吹气口，且在卡盘承载晶圆的状态下，吹气口位于晶圆的背面，吹气模组用于向晶圆背面提供吹扫气体；晶圆固定模组，包括设置于卡盘上且用于承载晶圆的支架，支架上设置有吸盘。在晶圆对准装置工作时，卡盘与晶圆固定模组共同用于稳定晶圆，提高晶圆对准装置的工艺可靠性；吹气模组对晶圆背面吹扫，去除附着在晶圆背面的微粒，改善设备生产效率下降的问题。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目273次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息535条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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