国家知识产权局信息显示,梭特科技股份有限公司申请一项名为“提升晶粒预先排列的精准度的对位方法”的专利,公开号CN121335471A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明提供了一种提升晶粒预先排列的精准度的对位方法,包括:吸取单元从入料载台上吸取晶粒,出料载台的晶粒放置区对齐光罩的晶粒预先排列位置的图案;旋转机构驱动吸取模块旋转;第一影像撷取单元撷取吸取单元与晶粒的影像,以取得吸取单元与晶粒的相对位置;出料载台和光罩同步移动;第二影像撷取单元撷取晶粒预先排列位置的图案的影像,以取得晶粒预先排列位置;以及控制单元根据吸取单元与晶粒的相对位置和晶粒预先排列位置控制旋转机构驱动吸取模块旋转,直至吸取单元将晶粒放置在出料载台的晶粒放置区上。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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