北京
国家知识产权局信息显示，浙江精工领航科技有限公司申请一项名为“一种多腔室旋转式气相沉积炉”的专利，公开号CN121320881A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种多腔室旋转式气相沉积炉，其包括固定基座及环形阵列布置的多个可转动的反应炉，每个反应炉内置可转动的零件台，反应炉内设有加热元件以及扰流片，通过驱动装置可驱动反应炉以及零件台同时且相反转动，供气管路、真空管路分别与每组反应炉管路连接，通过供气电控阀可独立调节各腔室的反应气体流量，通过抽气电控阀可独立控制各腔室的抽气速度，通过第一通断部件、第二通断部件可实现反应炉、零件台的旋转控制，实现从化学气相沉积到物理气相沉积在不同气压、气流及温度要求的工艺，该设计通过反应炉与工件的协同旋转，结合扰流作用，确保了反应气体分布均匀与沉积层的一致性，提高了多品种、多工艺零件的沉积生产效率与质量。
天眼查资料显示，浙江精工领航科技有限公司，成立于2015年，位于绍兴市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江精工领航科技有限公司参与招投标项目16次，专利信息88条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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