北京
国家知识产权局信息显示，通快激光系统半导体制造股份公司申请一项名为“辨识激光系统中的气体泄漏”的专利，公开号CN121336147A，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于检测激光系统(10)的气体管线(24)中的气体泄漏的方法(30)。在此，在激光射束(14)被引导穿过用气体填充的过程腔(20)之后，用探测器来确定激光射束特性。在不同的时间点(Pi)更换所述过程腔(20)的气体，其中，所述气体先前在所述时间点(Pi)之间的时间段(Ri)、即气体年龄内存在于所述气体管线(24)中。在气体更换之后，用探测器来检测所述激光射束(14)的射束特性，并将射束特性的射束差异(Si)与气体年龄差异(Gi)关联起来，形成数据对(Di)。可以根据所述射束差异(Si)随所述气体年龄差异(Gi)的变化推断出所述气体管线(24)中的气体泄漏。为了量化气体泄漏，可以在所述气体年龄差异(Gi)上线性拟合所述射束差异(Si)。可以使用所述算法(28)进行所述数据对(Di)的计算和分析。优选地，可以由所述算法(28)通过气体压力分析自动化地确定气体更换的时间点(Pi)。本发明还涉及一种用于实施这种方法(30)的激光系统(10)。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
