北京
国家知识产权局信息显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司申请一项名为“一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置”的专利，公开号CN121295197A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，具体而言，涉及一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置，公开了一种名为“一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置”的清洗工艺及装置，旨在解决现有TiN膜层清洗不均匀、腐蚀基材、污染环境及操作安全差的问题。其特征在于，采用含氟硼酸铵、过氧化氢等化学清洗液，辅以超声波活化、多级浸泡、漂洗和高压水洗，并通过自动化机械臂及中央控制系统实现精确清洗。本发明可实现沉积物彻底、均匀、无损清洗，显著提升效率，降低成本，延长设备寿命，确保操作安全与环境友好。
天眼查资料显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司，成立于2017年，位于铜陵市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本33839万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德科技发展股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息103条，此外企业还拥有行政许可46个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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