北京
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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“电子束加热稳定涂覆的光学系统的寿命”的专利，公开号CN121311453A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于稳定光学元件的方法，该方法包括：提供具有基板和涂层的光学元件，以及使该光学元件经受热处理。通过对光学元件进行热处理，包括用电子照射光学元件的涂层，解决了提供克服现有技术缺点的方法和光学元件的问题。此外，本发明涉及光学元件、包含这种光学元件的微光刻投射镜头、包含这种投射镜头的微光刻投射曝光设备、以及用于电子照射的装置。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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