北京
国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司申请一项名为“一种基于真空吸附的基板临时载体固定方法”的专利，公开号CN121310952A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明属于集成电路技术领域，提供了一种基于真空吸附的基板临时载体固定方法。本发明将基板和载体贴合，采用真空吸附固定，再对基板进行加工，释放真空至常压，剥离基板，其中，对载体进行分区，载体上还设置有微孔和微米级真空流道，微孔中间区域稀疏，边缘区域密集，微孔之间通过微米级真空流道连接，以及选取热膨胀系数相近的基板和载体，通过这种真空物理吸附的方法实现临时固定，无需使用胶粘剂，无胶粘剂残留，无需化学清洗，简化工艺步骤，可与多种高温工艺兼容，而且可针对基板翘曲热点区域增强吸附，抑制局部翘曲，提高良率。
天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1548.4786万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目113次，专利信息217条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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