国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“湿法清洗设备”的专利,授权公告号CN223798623U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本公开实施例提供了一种湿法清洗设备,包括:湿法清洗腔室;可旋转的伯努利台盘,位于所述湿法清洗腔室内,用于放置晶圆;所述晶圆吸附于所述伯努利台盘上,且正面朝向所述伯努利台盘;回收杯组件,围绕所述伯努利台盘设置,以收集所述晶圆旋转时甩出的液体;其中,所述回收杯组件包含多层杯体,每层杯体的部分顶部或全部顶部,其承接所述液体的表面具有凹陷部和/或凸起部。采用上述技术方案,能够有效处理化学液体飞溅到回收杯上时形成反溅的问题。
天眼查资料显示,浙江创芯集成电路有限公司,成立于2020年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目273次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息529条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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