2004年，刻蚀机之父尹志尧，弃美回国遭起诉，今81岁终迎来新身份

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上世纪末，有这样一位科学家，在花甲之年选择告别海外辉煌履历，转身投入祖国半导体事业的洪流。他就是被称作“中国刻蚀机之父”的尹志尧，曾担任美国应用材料公司（AMAT）全球副总裁，20年前毅然辞去要职回到中国，这一举动不仅震动业界，更让他一度成为前雇主紧盯的目标，甚至遭到法律诉讼。如今，81岁高龄的他因身份转变再次引发舆论热议。

提到芯片制造中的关键环节——刻蚀工艺，如今中国已站在世界前沿。而在国内该领域最具代表性的企业，非中微公司莫属。这家企业的崛起，离不开其掌舵人尹志尧的战略眼光与技术积淀。正是在他的带领下，中微实现了从追赶到引领的历史性跨越。

尹志尧出生于1944年，早年毕业于中国科学技术大学。此后他曾就职于石油化工部、兰州炼油厂和中科院，积累了扎实的科研实践经验。在体制内工作长达11年后，他并未止步于安稳岗位，而是于34岁时考入北京大学化学系深造。两年后赴美留学，进入加州大学洛杉矶分校攻读博士学位，并于1984年获得物理化学专业博士学位。

凭借出色的学术背景和技术能力，尹志尧迅速受到国际科技巨头青睐。毕业后首站即加入英特尔，随后转入泛林半导体（Lam Research），再后来进入应用材料公司（Applied Materials）。他在这些顶尖企业中持续深耕，最终晋升至AMAT副总裁职位，成为当时在美国半导体行业职位最高的华人之一。

他的职业生涯亮点频出：个人持有86项美国专利，主导研发的“彩虹号”氧化物刻蚀机助力泛林跃居全球主流刻蚀设备供应商行列；在应用材料期间，又推动了整条蚀刻设备产线的技术升级。如此成就，令美方极为重视。为了留住这位核心人才，公司不断赋予其更高职权与优厚待遇。但尹志尧却在2004年做出惊人决定——递交辞职信，回归故土。

这份决意背后，深植着家族传承的家国信念。他的曾外祖父是清末革命党成员，致力于推翻旧制；祖父为庚子赔款留学生，归国后投身教育救国；父亲则是留日归来的电化学专家，一生专注本土工业发展。在这样的家庭熏陶下，尹志尧自幼便树立起强烈的民族责任感。

转折点出现在2004年的一场国际半导体展览会上，他结识了时任上海市经委副主任的江上舟。交谈中得知，我国高端芯片严重依赖进口，核心设备几乎全部来自国外，关键技术受制于人，产业发展面临巨大瓶颈。这番对话深深触动了他，促使他下定决心回国创业。

他放弃百万美元年薪与舒适生活，亲自联络麦仕义等15位在美华裔专家，共同启程归国。组建团队之初，美方对其高度戒备，甚至在他离境时实施严格检查，防止携带任何涉密资料。但他始终坚持一条原则：借鉴思路，绝不复制设计。

中微成立后稳步前行，自主研发的等离子体刻蚀机逐步成熟，性能达到国际先进水平，成为公司打入全球市场的“杀手锏”。正当产品准备大规模出口之际，挑战接踵而至。

原雇主泛林半导体与应用材料公司相继提起诉讼，指控中微侵犯专利权、窃取商业机密，意图通过法律手段遏制其海外扩张步伐。两起案件来势汹汹，压力空前。

面对诉讼，尹志尧镇定应对。他强调团队始终坚持自主创新路径，在吸收国际经验基础上融合新技术路线，所有结构设计均为原创成果。正因如此，中微在多轮司法较量中始终立于不败之地。

回顾那段历程，他语气坚定：“我们不是模仿者，而是创造者。”这两场跨国官司不仅未击垮中微，反而助其赢得行业尊重，彻底打破“中国无法制造高端刻蚀设备”的刻板印象，也为中国突破西方技术封锁蹚出一条可行之路。

随着研发投入持续加码，截至2025年，中微最新一代刻蚀机加工精度已突破0.1纳米大关，极端条件下可达0.02纳米级别，超越多个科技强国同类产品，处于全球领先地位。

技术领先转化为市场优势。2025年前三季度，公司实现营收80.63亿元，同比增长46.4%；归属于上市公司股东的净利润达12.11亿元，同比增幅达32.66%，展现出强劲增长动能。

展望未来五至十年，中微制定了清晰战略目标：将集成电路关键设备覆盖率提升至60%以上，全面拓展刻蚀、薄膜沉积、清洗等多条产品线，力争跻身全球顶级半导体装备供应商行列。

尽管企业蒸蒸日上，尹志尧本人却并未因此获取巨额财富。由于长期专注于技术研发，其所持股份仅占公司总股本的0.7%。受早年社会主义思想影响，他主动将股权分配给团队成员，涵盖工程师、行政人员乃至司机与前台，真正践行“共享发展成果”的理念。

就在公司高速发展的关键时刻，一则公告引发广泛关注：2026年1月8日，中微发布消息称，尹志尧计划减持部分股份。

根据披露信息，自2026年1月30日至4月29日，他拟通过集中竞价交易方式减持不超过29万股，约占公司总股本的0.046%。以2026年1月9日收盘价每股336.68元计算，此次套现金额预计接近9464万元。

外界纷纷猜测此举动机：为何在企业发展高峰期选择减持？若为逐利，理应增持以获取更多分红回报。真相揭晓后，令人动容——此次减持实为配合国籍变更所需履行的税务程序。

原来，尹志尧早年旅居美国期间曾加入美国国籍，如今81岁之际已正式恢复中国国籍。为依法完成相关税务申报与资产清算，必须进行部分股份处置。这一细节早在年报中有所体现：2022年中微年报标注其为“美国公民”，2023年起不再提及国籍信息，至2024年已明确登记为“中国国籍”。

有人不解：年过八旬，何须再改国籍？熟悉他的人则明白，这是他一生信念的延续。他曾说：“无论走多远，华人始终是华人，根脉从未改变。”这一次的身份回归，不是终点，而是一种精神上的圆满。

如今，81岁的尹志尧依然活跃在研发一线，亲自主导新项目攻关。对他而言，重新穿上中国籍这件“外衣”，意味着能以更加纯粹的身份，继续陪伴中国半导体产业前行。

从六十岁舍弃海外高位归国创业，到耄耋之年仍奋战在技术前沿，尹志尧的人生轨迹远非“个人英雄主义”可以概括。

他率领团队攻克一道道技术壁垒，让中国刻蚀机实现从零起步到比肩世界的跨越。整整22年光阴，他用行动诠释了一个道理：中国半导体的突围之路，靠的不是侥幸，而是咬紧牙关、攻坚克难的执着。

今天，中微的刻蚀机能精准操控到0.1纳米尺度，而尹志尧那颗“科技报国”的初心，比这精度更细、比这尺度更深。这种坚定不移的信念，或许正是中国硬科技最坚实的力量源泉。

抖音@芒果TV 2025-11-21 所发内容

每日经济新闻 2026-01-10《已放弃美国国籍，恢复中国籍，81岁董事长拟套现近1亿元：为办理税务的需要！他60岁归国创业，带出2000亿元芯片巨头》

观察者网 2026-01-10《“中国刻蚀机之父”套现近1亿：因本人已从外籍恢复为中国籍，为办理税务需要》

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