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映日科技申请IGGXO靶材相关专利,IGGXO靶材提升载流子、透光性及抑制偏析

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来源:新浪证券-红岸工作室

1月10日消息,国家知识产权局信息显示,芜湖映日科技股份有限公司申请一项名为“显示领域高性能半导体氧化物IGGXO靶材及其应用方法”的专利。申请公布号为CN121292941A,申请号为CN202511338864.9,申请公布日期为2026年1月9日,申请日期为2025年9月18日,发明人曾墩风、方月、王志强、曾探,专利代理机构南京正联知识产权代理有限公司,专利代理师张凯,分类号C04B35/01、H10D62/80、H10D86/01、H10D86/40、C23C14/35、C23C14/08、C23C14/58、C04B35/622。

专利摘要显示,本发明涉及靶材技术领域,提供一种显示领域高性能半导体氧化物IGGXO靶材及其应用方法,引入了通过与In3+进行取代可额外提供载流子,并由于Ge的4s轨道能级比In的5s轨道能级更深,与O的2p轨道杂化后,形成更宽、弥散性更好的导带底,而同时禁带宽度可达5.0eV及以上,使薄膜的可见光透过率更高的氧化锗构成的三元体系为基质;同时以高价锡离子部分取代铟位,提供充足的自由电子,有效调控并提高载流子浓度;借助稀土氧化物Y2O3的晶界钉扎效应,在细化靶材晶粒、改善微观结构均匀性的同时,显著抑制溅射过程中的成分偏析和相分离现象。

天眼查数据显示,芜湖映日科技股份有限公司成立日期2015年8月21日,法定代表人张兵,所属行业为其他制造业,企业规模为小型,注册资本8940.0276万人民币,实缴资本8940.0276万人民币,注册地址为中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房。芜湖映日科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息213条,拥有行政许可37个。

芜湖映日科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1显示领域高性能半导体氧化物IGGXO靶材及其应用方法发明专利公布CN202511338864.92025-09-18CN121292941A2026-01-09曾墩风、方月、王志强、曾探2一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法发明专利公布CN202511029821.22025-07-25CN120518390B2025-09-26曾墩风、王志强、曾探、鄢波、陈光园3一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511029821.22025-07-25CN120518390B2025-09-26曾墩风、王志强、曾探、鄢波、陈光园4一种AgPdCu合金的溅射靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510835426.72025-06-20CN120719260A2025-09-30张信征、曾墩风、方亮、屈一鸣5高迁移率半导体IGZTO靶材及其有源层制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510792508.82025-06-13CN120624996A2025-09-12曾墩风、王志强、方月、刘兴龙6高密度低电阻率ZTO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510767746.32025-06-10CN120590159A2025-09-05曾墩风、王志强、于庆萍7一种低电阻高透过无铟靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510718009.42025-05-30CN120535303A2025-08-26曾墩风、于庆萍、王志强、曾探、方月8高透过率管状氧化物靶材的复合梯度烧结成型方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510693435.72025-05-27CN120574037A2025-09-02曾墩风、鄢波、王志强、曾探、方月9使用具有氧化锡的承烧板的高阻氧化物靶材垫烧烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510650829.42025-05-20CN120574052A2025-09-02王志强、曾墩风、鄢波、闫清龙10一种大幅减少ITO旋转靶材烧结底部变形的垫烧方式发明专利实质审查的生效、公布CN202510632784.82025-05-16CN120483678A2025-08-15王志强、武炳、曾墩风、徐军伟、马建保11一种旋转靶内圆及端面加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510620787.X2025-05-14CN120395594A2025-08-01武炳、徐军伟、王志强、马建保12一种离子注入掺杂IGZO薄膜的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510584090.12025-05-07CN120555963A2025-08-29王志强、曾墩风、鄢波、曾探13一种低结瘤高薄膜良率的新型氧化铟锡靶材及其制备方法发明专利公布CN202510567704.52025-04-30CN120289173A2025-07-11曾墩风、方月、王志强、曾探、陈光园14一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510531506.32025-04-25CN120423869A2025-08-05曾墩风、王志强、曾探、鄢波15一种旋转靶磨外圆的装夹气动工装发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510507161.82025-04-22CN120326527A2025-07-18武炳、徐军伟、王志强、马建保16一种低色差高密度的IZO靶材制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510485583.X2025-04-17CN120423855A2025-08-05曾墩风、王志强、鄢波、曾探17一种高迁移率高透过率氧化铟基靶材的薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510455801.52025-04-11CN120400757A2025-08-01曾墩风、方月、王志强、于庆萍18一种ITO靶材粉末的高效烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510432912.42025-04-08CN120271336A2025-07-08武炳、王志强、马建保、曾墩风、徐军伟19基于电流煅烧的多孔结构低密度IWO蒸镀靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510392643.32025-03-31CN120157506A2025-06-17曾墩风、王志强、鄢波、曾探、方月20一种低成本常压烧结制备高致密PZTO靶材的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510367642.32025-03-26CN120208669A2025-06-27曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园21一种ICO蒸镀靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510328276.02025-03-19CN120247556A2025-07-04曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园22一种圆筒靶材的装卸装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510298435.72025-03-13CN120229541A2025-07-01曾墩风、曾探、王志强、潘友华、徐军伟23一种高硬度平面溅射铜靶材的生产工艺发明专利授权CN202510195755.X2025-02-21CN119973560B2026-01-02曾墩风、张信征、王津津24不同比表面积氧化铟制备高密度旋转ITO靶材的方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510177891.62025-02-18CN119874333A2025-04-25武炳、马建保、曾墩风、徐军伟、王志强25一种高密度、高导电性、低电阻率IGZO靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510147506.32025-02-11CN119613093A2025-03-14曾墩风、王志强、鄢波、曾探26用于显示领域BM材料的氧化钼基靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510094607.92025-01-21CN119930284A2025-05-06王志强、曾墩风、鄢波、陈光园27高透光率和高导电性的AGZO靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510074196.72025-01-17CN119874350A2025-04-25曾墩风、王志强、鄢波、曾探28一种圆靶材检测设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510049630.62025-01-13CN119826710B2025-10-10曾墩风、曾探、王志强29一种圆靶材检测设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510049630.62025-01-13CN119826710B2025-10-10曾墩风、曾探、王志强30太阳能电池用高迁移率低接触电阻靶材及薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510030143.52025-01-08CN119822789A2025-04-15曾墩风、方月、王志强、曾探31一种金属平面靶材机加工定位固定装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411985887.42024-12-31CN119734215A2025-04-01屈一鸣、张信征、曾墩风32一种超大尺寸的平面靶装炉升降车实用新型授权CN202423231461.82024-12-26CN223737609U2025-12-30曾墩风、陈光园、王志强、曾探33一种高纯平面铜靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411914686.52024-12-24CN119800298A2025-04-11王津津、曾墩风、张信征34一种高精度靶材电阻率自动化测量系统与方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411887169.32024-12-20CN119804992A2025-04-11王志强、曾墩风、鄢波35一种溅射平面银铟合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411872480.02024-12-18CN119776777A2025-04-08曾墩风、张信征、王津津36一种台面滚轮工装车实用新型授权CN202423085622.72024-12-13CN223384497U2025-09-26石煜、曾墩风、杨超37一种IZrO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411820332.42024-12-11CN119774981A2025-04-08曾墩风、王志强、曾探、陈光园、鄢波38一种纳米晶氧化镍靶材及其透明导电薄膜中的应用发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411801599.92024-12-09CN119797891A2025-04-11曾墩风、王志强、曾探、鄢波、闫清龙39一种IZrO透明导电薄膜及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411762647.82024-12-03CN119553228B2025-09-23鄢波、曾墩风、王志强、曾探、陈光园40一种IZrO透明导电薄膜及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411762647.82024-12-03CN119553228B2025-09-23鄢波、曾墩风、王志强、曾探、陈光园41一种低电阻高透过低铟靶材的制备方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411740214.22024-11-29CN119551981A2025-03-04曾墩风、于庆萍、王志强、曾探42一种具有导电性磷酸锂溅射靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411705187.52024-11-26CN119433410A2025-02-14石煜、曾墩风、王志强、杨超43IGZO薄膜质量评估方法及电子设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411673333.02024-11-21CN119534450A2025-02-28鄢波、曾墩风、王志强、曾探44一种旋转靶材绑定装置实用新型授权CN202422819556.52024-11-19CN223329374U2025-09-12曾墩风、屈一鸣、潘友华、王志强、王振宏45一种金属平面靶的翻转装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411636261.22024-11-15CN119491193A2025-02-21曾墩风、张信征、费唐兴、王津津、后雨疏46一种超声波高能砂磨机实用新型授权CN202422754748.22024-11-12CN223405336U2025-10-03鄢波、王志强、曾墩风、曾探、陈光园47一种减少ITO靶材二次相的方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411591980.72024-11-08CN119462125A2025-02-18王志强、曾墩风、鄢波、曾探、陈光园48一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装实用新型授权CN202422651761.52024-10-31CN223326127U2025-09-12潘友华、曾墩风、屈一鸣、汪大庆49一种回收焊接料过滤除杂装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411502157.42024-10-25CN119318828A2025-01-17潘友华、屈一鸣、曾墩风、汪大庆50一种固态电池领域用高导电性磷酸锂溅射靶材及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411464788.12024-10-21CN118955116B2024-12-13曾墩风、张兵、石煜、王志强、曾探、陈光园

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