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国家知识产权局信息显示，上海芯煜达科技有限公司申请一项名为“一种低温漂纵向MEMS谐振器及其制造方法”的专利，公开号CN121308707A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请涉及微机电系统技术领域，具体公开一种低温漂纵向MEMS谐振器及其制造方法。该低温漂纵向MEMS谐振器包括由上至下堆叠的上器件层、下器件层、绝缘层和基底层。纵向MEMS谐振器还包括热量消散层，热量消散层连接上器件层；热量消散层的热传导系数大于上器件层的热传导系数。连接上器件层的热量消散层可以加快器件散热、降低温升，可以在不同的具体设计结构中协调发挥作用，使得纵向MEMS谐振器具有低温漂性能。
天眼查资料显示，上海芯煜达科技有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本667万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯煜达科技有限公司专利信息5条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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