北京
国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司申请一项名为“炉管反应腔结构和半导体的工艺方法和工艺设备”的专利，公开号CN121306888A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种炉管反应腔结构、半导体的工艺方法和工艺设备。该炉管反应腔结构包括：炉管本体，其外部轴向环绕复合线圈；复合线圈，并联连接交流电源和射频电源，复合线圈经由交流电源加热炉管本体，并经由射频电源使炉管本体内充满等离子体；高频过滤器，串联于交流电源的电路中，用于阻挡射频电源产生的高频信号串入交流电源的电路；以及低频过滤器，串联于射频电源的电路中，用于阻挡交流电源产生的低频信号串入射频电源的电路。本发明能够简化腔室结构，降低设备成本，同时提高高频和低频交流电信号的稳定性，避免因线圈电流波动而导致管内加热不均匀，以及高频磁场稳定性被破坏而导致气体电离过程不稳定的风险，从而提升了工艺效果。
天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目89次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息146条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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