上海
财联社1月8日讯（编辑 马兰）亿万富翁马斯克似乎打算插手芯片制造业务，他在本周表示，芯片制造行业建造洁净室的方式是错误的，一旦特斯拉建成自己的2纳米制程晶圆厂，他将在厂里吃汉堡、抽雪茄。
马斯克称，他认为现代晶圆厂的洁净室设计存在问题，晶圆应该始终处于密封状态。但他的设想显然与芯片行业的标准不同。
现代晶圆厂是大型的一体化工厂，其中包括了超洁净的生产洁净室，设有真空泵、气体处理和排气系统的子晶圆厂层，用于维护和公用设施的专用工具服务走廊，集中式化学品输送和废物管理基础设施，以及办公和控制区域。
而洁净室与晶圆厂其他部分完全隔离，目的是保证该空间空气中的颗粒数量不会影响到芯片的制造工艺。比如EUV和DUV光刻曝光，以及先进的栅极形成，都需要在ISO1级或2级标准的洁净室中进行，否则超灵敏的EUV光刻镜可能会受到影响，化学工艺也可能出现问题。
ISO1级代表着每立方米空气中最多允许10个体积≥0.1微米的颗粒和2个更大的颗粒；ISO2级代表着每立方米空气中最多允许100个≥0.1微米的颗粒和38个更大的颗粒。而ISO3级门槛更低，但仍常见于先进晶圆制造厂，且比生产成熟制程的晶圆厂环境要洁净得多。
在这种高标准之下，即使是人类呼吸都可能改变空气中的微粒含量，更不用提马斯克所说的“吃汉堡和抽雪茄”。如果他真的在特斯拉的晶圆制造厂中作出上述行为，那么该工厂的良率与产量可能都将不保。
另一方面，马斯克提到的特斯拉晶圆工厂也值得探究。
这位亿万富翁曾经提议特斯拉建立自己的芯片制造网络，并满足公司的定制芯片需求，随后，特斯拉与三星就AI5和AI6芯片展开了广泛的合作。而现在，他又透露，特斯拉计划打造TeraFab工厂以生产2纳米芯片。
尽管这一说法听起来激动人心，但考虑到特斯拉在芯片制造领域毫无经验，TeraFab更可能会是特斯拉与现有合作伙伴的一次进阶合作。
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