国家知识产权局信息显示,光科芯图(北京)科技有限公司申请一项名为“激光加速器及其安装方法和曝光系统”的专利,公开号CN121284819A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本公开涉及激光加速器技术领域,特别涉及一种激光加速器及其安装方法和曝光系统。本公开提供的激光加速器包括基底;凸台,设置在所述基底上;微柱结构,间隔设置在所述凸台上,其包括至少两个微柱单元,所述微柱单元包括两个成对设置于所述凸台上的微柱,两个成对设置的所述微柱之间存在间距,至少两个所述微柱单元沿所述凸台的长度方向排列以形成加速通道,所述加速通道包括输入口和输出口;以及至少两个定位结构,设置在所述凸台上并分别位于所述加速通道的前后两侧。本公开解决现有的加速器针对电子束存在加速效果差的问题。
天眼查资料显示,光科芯图(北京)科技有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本35555.55万人民币。通过天眼查大数据分析,光科芯图(北京)科技有限公司参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息103条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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