国家知识产权局信息显示,合肥皓宇芯光科技有限公司取得一项名为“一种冷却系统”的专利,授权公告号CN223772385U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种冷却系统,包括:进水管路与出水管路,电离台开设水流通道,进水管路与水流通道的输入端相连,出水管路与水流通道的输出端相连,进水管路与出水管路在位于真空腔体中的部位设置为钢管,在位于常压腔体中的部位设置为软管,钢管与软管相连通。本实用新型中,在极紫外发生器在工作过程中,真空腔体内的电离台温度升高,通过外部水源向进水管路中的软管通入冷却水,冷却水从软管通入至钢管中,再流经电离台,将电离台中的热量带出,最后通过出水管路中的钢管与软管向外部流出,冷却水流经电离台过程中带走热量,对电离台进行冷却,可以保证极紫外光的传输不易受到温度影响。
天眼查资料显示,合肥皓宇芯光科技有限公司,成立于2023年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1580.4094万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥皓宇芯光科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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