光刻机巨头开始发现，中国造不成光刻机，但是要造一个光刻工厂！

从2023年开始，美国出口管制一轮接一轮，荷兰政府也跟着收紧对中国销售的政策。

荷兰阿斯麦公司的前老板彼得·温宁克在2023年1月的财报会上直言，这种管制反而会推着中国搞出新技术来。结果，2023年中国订单占公司营收的29%，2024年甚至一度到49%，大家都知道这是中国客户在囤货，怕以后买不到深紫外设备。

这些设备主要用于成熟工艺芯片，支撑电动车和光伏产业。

公司新老板克里斯托夫·富凯在2024年4月上任后，也在公开场合说中国需求超预期，但内部评估显示2025年中国系统销售同比降24%。

2025年，中国市场营收全年还是占了36%，总额102亿欧元，但阿斯麦高层清楚这不是长久之计。荷兰政府在2024年12月更新管制，把更多机型纳入审查，阿斯麦的部分出口申请被拖延。

公司内部报告指出，中国已安装的几千台设备需要定期维护，如果服务链条断了，不光丢订单，还丢了信用。

富凯在2025年10月的财报会上说，预计2026年中国销售额会显著下滑，但总营收不会低于2025年的359亿欧元。

他们开始把精力转到欧洲和美国市场，分散风险，同时跟荷兰政府协商维护许可，有些申请过了，但新机出口明显少了。

2017年，清华大学就开始进行稳态微聚束极紫外光源项目，避开单机专利的死胡同。2021年，在《自然》杂志上验证了原理，功率能到千瓦级，比阿斯麦单机250瓦高出好几倍。

2022年，团队发表了综述论文，讲核心参数，之后在雄安新区选址评估启动。2025年初，雄安开始建这个周长一公里的环形设施，像发电站一样供应光束给周边终端。

团队整合了固体激光和等离子体技术，测试显示效率提升四倍。这套方案把芯片制造拉到大型工程领域，中国在这块有优势，不用再求西方镜头组件。

2025年7月，清华大学在极紫外光刻胶上又有进展，开发出聚碲氧烷材料，灵敏度跟国际顶尖差不多，支持7纳米工艺。南大光电等企业扩产，氪氟胶覆盖更多需求。

上海微电子在2025年初交了首台28纳米光刻机，第三季度试产，计划2026年量产；哈尔滨工业大学参与的激光产生等离子体光源也在测试；浙江企业用电子束直写和纳米压印搞小批量生产。

这些东西凑一起，基本覆盖了产业链大半，国产化率上去了，1%的尖端技术就算买不到，也能用工厂级方案顶上。

阿斯麦在2025年注意到，中国半导体基金三期从2024年5月投了3440亿元，重点砸在材料和部件上。富凯在2025年4月还说中国开发极紫外技术需要很多年，但到12月他改口，说中国不会接受被切断技术。

这话挺有意思，反映出他们开始意识到单机垄断可能撑不住。深圳在2025年初建了个极紫外原型，占整个工厂地板，用前阿斯麦工程师组装，现在在测试，目标2028年产AI芯片。

华为在东莞也试了些元件，中国投资370亿欧元推本土极紫外系统。

这些进展让阿斯麦的专利护城河看起来不那么牢固了。温宁克早年的警告在2025年应验了，中国从2019年管制开始，就断了依赖，工程师们专注创新。

富凯在2025年底说，地缘因素在重塑格局，阿斯麦的地位晃动了。半导体下半场拼的不是设备参数，而是谁能调动大工程力量改规则。

中国的“光刻工厂”思路，就是从单机跳到基础设施，效率高，成本也能摊薄。阿斯麦股价在管制新闻后晃荡，但长远看，市场在变。

中国稀土出口在2025年10月收紧，需要海外企业申请批准，阿斯麦说他们有库存，长交货期帮了忙，但这加剧了供应链压力，公司准备好应对，但富凯承认这不是好事。

清华大学项目在2025年推进原型，功率突破千瓦，确认可行。雄安设施预计两年内投用，取代进口。上海光学所提升激光效率，这些辅助技术让闭环更紧。

阿斯麦评估显示，中国订单转向本土，2026年营收占比可能降到20%以下。

2019年，美国落闸，本想卡脖子，结果中国绕道建工厂。阿斯麦作为中间人，夹在美荷政策和市场需求间，挺难受。温宁克退休前就说隔离中国没用，只会加速创新。

现在富凯也认可，中国在用系统工程破局。半导体不是单纯买卖设备了，而是建生态。中国企业抱团，科研院所突围，产业链独立了，那最后的壁垒也就裂了。

2025年的这些突破，只是开头，好戏在后头。

参考资料：

1、荷兰限制部分型号光刻机出口 中国市场影响几何 经济观察报 2023-03-10

2、[海峡新干线]荷兰光刻机巨头阿斯麦首席执行官：出口管制难不倒中国 央视网 2023年09月10日