国家知识产权局信息显示,德州仪器公司申请一项名为“具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置”的专利,公开号CN121269608A,申请日期为2025年6月。
专利摘要显示,本公开涉及一种具有铰链层级致动的非接触式微机电系统装置。微机电系统装置(400,图5A)包含:衬底(403);第一电极(406A),其在所述衬底(403)上;第二电极(410A),其在所述衬底(403)上,第一间隙(430C)在所述第一电极(406A)与所述第二电极(410A)之间;第三电极(408A),其在所述衬底(403)上;第四电极(410B),其在所述衬底(403)上,第二间隙(430A)在所述第三电极(408A)与所述第四电极(410B)之间;第一电极焊盘(404A),其在所述衬底(403)上;第二电极焊盘(404B),其在所述衬底(403)上;以及铰链(411),其在所述第一电极焊盘(404A)与所述第二电极焊盘(404B)之间延伸。所述铰链(411)具有第一延伸部(418A)和第二延伸部(418C),所述第一延伸部(418A)在所述第一间隙(430C)上方且所述第二延伸部(418C)在所述第二间隙(430C)上方。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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