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国家知识产权局信息显示，深圳市捷佳芯创科技有限责任公司取得一项名为“腔室盖板及卧式HWCVD设备”的专利，授权公告号CN223766430U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型提出了一种腔室盖板及卧式HWCVD设备，腔室盖板设有热丝导电组件和布气装置，所述热丝导电组件上连接多根热丝，且多根所述热丝连续地排成多行，布气装置出气孔、热丝及基板的位置关系为出气孔‑热丝‑基板且安装顺序为朝下安装或朝上安装。本实用新型的热丝紧密拼接成间隔分布的多行，便于模块化安装于腔室盖板；将热丝行平行横穿至载板两侧的布气管嵌入腔室盖板内，同时每个行列化的热丝安装条也嵌入到了腔盖内，安装位置均平齐于腔盖表面。
天眼查资料显示，深圳市捷佳芯创科技有限责任公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3600万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市捷佳芯创科技有限责任公司专利信息19条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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