国家知识产权局信息显示,江苏希尔芯半导体设备有限公司申请一项名为“一种用于真空吸填孔的电镀装置及其工作方法”的专利,公开号CN121250325A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供了一种用于真空吸填孔的电镀装置及其工作方法,包括沿X轴设置的桁架,桁架上滑动设置有滑动板,且桁架上至少设置两个滑动板,滑动板的下方设有上真空盖,上真空盖可通过Z轴方向的运动进行位置调整,与桁架对应的下方设置有下真空盖,任一上真空盖可以与下真空盖形成真空腔,上真空盖内设有用于安装基材的夹具,上真空盖内还设有可将基材展开的夹紧组件,下真空盖内设有溅射源;上真空盖和与其对应的下真空盖之间可以形成真空腔,通过夹紧组件可以将基材展开,从而对基材表面实现均匀的镀膜。
天眼查资料显示,江苏希尔芯半导体设备有限公司,成立于2019年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5600万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏希尔芯半导体设备有限公司参与招投标项目5次,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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