北京
国家知识产权局信息显示，武汉华日科仪激光科技有限公司申请一项名为“一种陶瓷静电吸盘表面微雕的激光加工方法及系统”的专利，公开号CN121245241A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体设备制造技术领域，具体涉及一种陶瓷静电吸盘表面微雕的激光加工方法及系统，包括如下步骤：将陶瓷静电吸盘固定在加工平台上；所述陶瓷静电吸盘具有陶瓷绝缘层；获取目标雕刻图形；根据陶瓷绝缘层材料的吸收特性，选择合适波长的激光器，并设定激光加工参数；激光器发出激光束并聚焦于陶瓷绝缘层表面，并基于目标雕刻图形对陶瓷绝缘层进行激光扫描加工。本发明例采用激光加工陶瓷静电吸盘上陶瓷绝缘层表面的微雕，工艺操作简便，加工精度和加工效率高，且根据陶瓷静电吸盘表面的陶瓷绝缘层材料的吸收特性，选择合适波长的激光器，不仅利于激光能量与陶瓷绝缘层材料实现高效耦合，从而提高激光加工效率，还可以避免多余光热反应，减少不必要的热效应对陶瓷静电吸盘造成的热损伤，从而提高激光加工质量。
天眼查资料显示，武汉华日科仪激光科技有限公司，成立于2018年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉华日科仪激光科技有限公司参与招投标项目5次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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