北京
国家知识产权局信息显示，楚赟精工科技（上海）有限公司取得一项名为“一种气相沉积设备”的专利，授权公告号CN223738136U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请提供一种气相沉积设备，该气相沉积设备的进气装置包括工艺进气装置和吹扫进气装置，工艺进气装置至少包括两个子工艺进气装置，以向衬底表面的不同区域提供层流工艺气体，提供更加均匀的源气密度，有利于外延的均匀生长；吹扫进气装置至少包括两个子吹扫进气装置，以向层流工艺气体和工艺腔室顶壁之间的空间提供至少两路吹扫气体，吹扫气将工艺腔室的顶板与衬底或源气隔离，将源气尽可能的限制于靠近衬底表面的空间，阻止源气向上扩散至工艺腔室的顶壁，设置多路吹扫气流以提高吹扫气的隔离效果，在不同区域或方向上提供隔离作用，有助于获得均匀的反应气流和质量良好的衬底薄膜。
天眼查资料显示，楚赟精工科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，楚赟精工科技（上海）有限公司参与招投标项目41次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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